사업소개
끊임없는 연구와 기술 개발에 대한 열정을 가지고 세계로 나아가는 AP시스템
Display(전공정)
Laser Lift-Off
KORONA™ LLO
플렉시블 디스플레이(Flexible Display)를 위해 설계된 레이저 박막 분리(Laser Lift-Off)시스템입니다. 레이저, 광학 기술 및 프로세스 모듈을 이용하여 기판에서 캐리어 글래스 (Carrier Glass) 를 분리, Thin Film Device를 제작합니다. 플렉시블 디스플레이 제조 공정에서 핵심적인 설비입니다.
Technology
엑시머 레이저(Excimer Laser)를 조사하여 유리기판 위에 형성된 플라스틱 소재인 폴리이미드(PI)를 떼어냅니다.
Specification
| Laser Type | Excimer Laser |
|---|---|
| Laser Wavelength | 308nm (XeCl) |
| Laser Repetition Rate | 600Hz |
| Laser Pulse Energy | 1J, 2J |
| Laser Uniformity | Long Axis (2σ): ≤ 1.8% (@96%), Short axis (2σ): ≤ 3.0% (@96%) |
| Stage Type | Single Plane or Stack Plane |
| Stage Position accuracy | X1, X2 axis: <±4um, Y1, y2 axis: <±4um |
| Process Environment | ATM |
| Software | Easy Cluster™ |
| Safety Certification | CE, SEMI, S-Mark |
