저온 Si 결정화 공정(Low-temperature polycrystalline silicon, LTPS)을 위해 설계된 레이저 열처리 시스템입니다. 세계 최고 수준의 레이저, 광학 기술과 체임버 기술을 통합하여 고품질의 LTPS TFT를 형성합니다. AMOLED Backplane 및 LTPS LCD 분야에 적용됩니다.

플렉시블 디스플레이(Flexible Display)를 위해 설계된 레이저 박막 분리 (Laser Lift-Off)시스템입니다. 레이저, 광학 기술 및 프로세스 모듈을 이용하여 기판에서 캐리어 글래스 (Carrier Glass) 를 분리, Thin Film Device를 제작합니다. 플렉시블 디스플레이 제조 공정에서 핵심적인 설비입니다.

AMOLED의 모든 공정이 진행된 후 산소와 수분의 침투를 막기 위해
Glass로 밀봉하는 공정입니다. 4세대 이상 대면적의 AMOLED 봉지 공정을 수행하며, 국내 유일의 봉지 공정 전체 설비를 공급하고 있습니다.

KORONA™ ALD 는 플라즈마 반응을 이용하여 기존 Thermal ALD 보다
저온 공정에서 증착 가능한 설비입니다

플렉서블 디스플레이(Flexible Display)에 사용되는 다양한 Film을 위해 설계된 레이저 Cutting 시스템입니다. 초정밀 레이저, 광학기술과 자동화 기술을 통합하여 제품의 Cutting과 검사를 합니다. 플렉서블 디스플레이의 제조공정에 필수로 채용되는 공정 설비입니다.

KORONA™ CVD는 Micro-OLED 박막 봉지막 증착설비입니다.